◆說明：以數位式 Mass Flow Controller 為量測控制元件，可準確控制所
        通過氣體質量，不受環境溫度、壓力影響。 

◆ Mass Flow Controller 量測介紹：                  

質流控制器(Mass Flow Controller)一般簡稱MFC。它是一種流量計與控制
閥組的精密機電組合，與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非
接觸的方式測量氣體的質量流速，不同於一般測量體積流速的方法，所以能
夠避免環境壓力與氣體體積的影響，非常適合用在動態的氣體流量控制上。 


◆特點：                  
1.以 Mass Flow 控制，精準度高。 
2.具有防爆型元件(選配)。
3.配管皆為 SUS Swagelok 方式。
4.不鏽鋼外箱。
5.具有 SUS 混合筒附排氣閥。(選配)
6.警報系統。(選配)