質量數位氣體混合機
MFC-2S / MFC-2L
MFC-3S / MFC-3L
 
 
 
 
 
 
 
 
 
MFC-3S / MFC-3L
MFC-3S混合機


◆說明:以數位式 Mass Flow Controller 為量測控制元件,可準確控制所
通過氣體質量,不受環境溫度、壓力影響。
◆ Mass Flow Controller 量測介紹:

質流控制器(Mass Flow Controller)一般簡稱MFC。它是一種流量計與控制 閥組的精密機電組合,與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非 接觸的方式測量氣體的質量流速,不同於一般測量體積流速的方法,所以能 夠避免環境壓力與氣體體積的影響,非常適合用在動態的氣體流量控制上。

◆特點:

1.以 Mass Flow 控制,精準度高。 2.具有防爆型元件(選配)。 3.配管皆為 SUS Swagelok 方式。 4.不鏽鋼外箱。 5.具有 SUS 混合筒附排氣閥。(選配) 6.警報系統。(選配)

MFC-3S / MFC-3L 規 格
型     式
MFC-3S
MFC-3L
混 合 方 式
3 種
3 種
混 合 氣 體
Ar+O2+H2 / CO2+N2+He
流  量  計
Mass Flow l/min
入 口 壓 力
0.5~10 kg/cm2
出 入 口 規 格
依客戶要求


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